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保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置

摘要

一种保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置,其具有:激光光束激励单元;使激光光束的光斑形状形成为环状的环状光斑形成单元;光束分离器,其沿第1路径引导光斑形状形成为环状的激光光束;聚光器,其对沿该第1路径引导的激光光束进行聚光,并照射被加工物;针孔遮光器,其设置于在被加工物上反射的激光光束被该光束分离器分割形成的第2路径上;圆锥反射镜,其把通过针孔遮光器的、光斑形状为环状的反射光转换为线状的光斑形状;位置检测器,其检测被该圆锥反射镜转换为线状的光斑形状的反射光的位置;以及控制单元,其根据由该位置检测器检测出的反射光的位置,求出被保持在卡盘工作台上的被加工物的上表面高度位置。

著录项

  • 公开/公告号CN101388354B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-05-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社迪思科;

    申请/专利号CN200810215342.X

  • 发明设计人 沢边大树;能丸圭司;

    申请日2008-09-05

  • 分类号H01L21/66(20060101);H01L21/301(20060101);H01L21/78(20060101);G01B11/00(20060101);G01B11/02(20060101);B23K26/03(20060101);B23K26/40(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄纶伟

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-05-30

    授权

    授权

  • 2010-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20080905

    实质审查的生效

  • 2009-03-18

    公开

    公开

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