公开/公告号CN101388354B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-30
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社迪思科;
申请/专利号CN200810215342.X
申请日2008-09-05
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/301(20060101);H01L21/78(20060101);G01B11/00(20060101);G01B11/02(20060101);B23K26/03(20060101);B23K26/40(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄纶伟
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:10:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-05-30
授权
授权
2010-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20080905
实质审查的生效
2009-03-18
公开
公开
机译: 用于测量保持在卡盘工作台上的工件的高度位置的设备和激光加工机
机译: 用于检测保持在卡盘工作台上的工件的高度位置的装置
机译: 用于检测保持在卡盘工作台上的工件的高度位置的装置