对玻璃表面，涂有金属氧化物的玻璃表面，和其他SiO₂涂覆材料的表面进行清洗、蚀刻、活化和后续处理的装置和方法

摘要

本发明涉及通过电等离子体层的作用，对玻璃表面，涂有金属氧化物或涂有有机材料层的玻璃表面，SiO₂层涂覆材料，和具有有机材料表面涂层的SiO₂层涂覆材料进行清洗、蚀刻、活化和后续处理的装置。此处所披露的发明包括至少一个电极系统(1)，它由位于绝缘体(4)内部的至少两个电极(2)和(3)组成。电等离子体层优选是在大气压力下生成的，并且优选位于电极(2)和(3)的上方，与处理过的玻璃，金属氧化物涂覆玻璃，其他SiO₂涂覆材料和具有一层有机材料(5)的SiO₂涂覆材料处在同一侧，并且通过在它们之间施加的交变或脉冲电压来激励。本发明还涉及玻璃表面，金属氧化物涂覆玻璃，其他SiO₂涂覆材料，和具有有机材料层的SiO₂涂覆材料的处理方法，该方法的特征在于通过使用本发明的装置生成的电等离子体来影响所述表面。可选地，所述等离子体-处理的表面还可以涂有含H₂O的溶液，曝射于单体蒸汽，或者与其他材料接触。