将反应气体引入反应室的设备及应用该设备的外延反应器

摘要

本发明涉及一种用于将反应气体引入外延反应器的反应室中的设备(1)，设备(1)包括气体供应管道(2)和冷却构件(3)，所述冷却构件(3)位于供应管道(2)的一端，并能冷却供应管道(2)及由此冷却在其内流动的气体。