多晶硅氢气气氛下还原炉启动方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉启动方法，涉及多晶硅的氢气气氛下还原炉的启动方法，目的是解决现有多晶硅氢气气氛下还原炉启动方法存在的操作过程复杂、不易控制或成本较高的问题，主要是将分别由多对硅芯构成的多组多晶硅排布成内外两个环形，其中内环接入一相电源，外环的一半接入另一相电源，通过这两相电源击穿此两组多晶硅，再以此击穿后的多晶硅烘烤外环另一半的多晶硅。