超低残留反射的低应力透镜涂层

摘要

本发明给出一种用防反射(AR)涂层对光学透镜和其他光学制品涂覆的方法。透镜有低的反射率，提供基本上白色的光反射，并有低应力AR涂层，且理想地适合用于模制工艺制作的光学透镜，该种模制工艺给出低应力的透镜基片。一方面，本方法使用专门的涂层成分，其中之一是高折射率成分，另一种是低折射率成分。另一方面，还公开一种光学监控器与常规汽相淀积设备结合使用的方法，按照该方法，使用光学参考透镜，并测量反射光中特定的光学频率，然后用该测量来确定何时获得需要的光学涂层。再一方面，本方法最好还用反射光中蓝光对绿光对红光的专门比例，计算每一层的光学厚度。必要时，还通过调整每一层的光学厚度，控制AR膜的应力，使低/高折射率层之间的拉应力和压应力的差最小。