一种基于铝阳极氧化膜的复型纳米孔掩模板及其制备方法和应用

摘要

利用真空镀膜技术在多孔氧化铝膜表面沉积薄膜，得到了一种复型纳米孔薄膜。这种复型纳米孔薄膜具有与铝阳极氧化膜相同密度及排列的纳米孔阵列。用化学腐蚀法去除氧化铝衬底后，所得纳米孔薄膜可用作掩模板，与离子刻蚀或真空薄膜沉积等技术相结合，可实现多种纳米阵列的制备及多孔氧化铝图形的复制转移。与传统的超薄多孔氧化铝掩模板相比，这种复型掩模板的制备更为简单，并可选用多种可真空溅射或蒸发的材料。