用于对微机械及纳米机械结构进行检验的系统及方法

摘要

本发明涉及一种用于表面检验的系统，其被设置用于探测构成机械结构(5)，例如微机械结构或纳米机械结构，之一部分的多个元件(51)的不同点处的振动和/或相对位移特性。根据本发明，使光束沿第一轨迹(A)沿所述机械结构发生位移，以探测沿所述轨迹(A)长度的不同的相继参考位置(C)，并使光束进一步沿多个第二轨迹(B)沿所述机械结构位移，其中每一所述第二轨迹(B)均与其中一个前述参考位置(C)相关联。此外，本发明进一步涉及一种对应方法以及一种实施该方法的程序。