公开/公告号CN101866882B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201010166065.5
申请日2010-04-29
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:09:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-02-29
授权
授权
2010-12-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/82 申请日:20100429
实质审查的生效
2010-10-20
公开
公开
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