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带有布置于平面中的前腔室的气体分配器

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摘要

一种用于CVD或OPVD反应器的气体分配器，包括两个或更多的气体空间(1、2)，在每个空间中开有用于过程气体的供应管线(3、4)，每个气体空间(1、2)都连接到用于各个过程气体的多个出口开口(6、7)上，所述开口出口开在气体分配器的底部(5)中。为了增加气体成分的均质性，两个气体空间(1、2)具有位于共用第一平面(8)的前腔室(10、10’、11)，分别与一个气体空间相关联的多个气体分配腔室(12、13)设置在第二平面(9)中，临近气体分配器的底部，每个气体空间(1、2)的前腔室(10、10’、11)和气体分配腔室(12、13)通过连接通道(14、15)连接。

著录项

公开/公告号CN101107384B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-21

原文格式PDF
申请/专利权人艾克斯特朗股份公司;
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申请/专利号CN200680003148.4
发明设计人马库斯·莱因霍尔德;彼得·鲍曼;格哈特·K·斯特劳奇;
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申请日2006-01-05
分类号C23C16/455(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人王冉;王景刚
地址德国亚琛
入库时间 2022-08-23 09:09:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-03

专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20180716 变更前: 变更后: 申请日:20060105

专利申请权、专利权的转移
2018-08-03

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更前: 变更后: 申请日:20060105

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-03-21

授权

授权
2012-03-21

授权

授权
2008-03-19

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-03-19

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-01-16

公开

公开
2008-01-16

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