直线运动执行机构及利用其的部件保持装置、芯片焊接装置

摘要

本发明提供一种可将轴向高度尺寸抑制为较小并可产生较大推力的直线运动执行机构和利用直线运动执行机构的装置。本发明的直线运动执行机构具备：筒状的内侧轭铁；筒状的第1内侧永久磁铁；筒状的第2内侧永久磁铁；磁性体制成的外侧轭铁；连接部件，将外侧轭铁和内侧轭铁相互连接；第1外侧永久磁铁；第2外侧永久磁铁；第1电枢线圈，可向轴向相对移动地配置在第1内侧永久磁铁和第1外侧永久磁体相互间；以及第2电枢线圈，可向轴向相对移动地配置在第2内侧永久磁铁和第2外侧永久磁体相互间。