磁盘驱动器及其所用的前置放大器和柔性印刷电缆组件

摘要

一种磁盘驱动器及其所用的前置放大器和柔性印刷电缆组件。为了提高磁盘驱动器的成本、安装性能和可靠性，通过使用气压传感器和加热器，调整磁头滑动器的飞行高度以对应于驱动器的工作高度。前置放大器(7)是通过在体硅晶片(7a)上三维层叠薄膜电路形成的半导体芯片。通过半导体工艺在半导体芯片上集成地形成气压传感器(7f)。气压传感器(7f)被配置为包括隔离空腔(7g)、响应于隔离空腔(7g)和外面之间的压力差而偏离的隔膜(7h)以及用于探测静电电容变化的下和上电极(7i)和(7j)。包括有在其中集成地形成的气压传感器(7f)的前置放大器(7)被连接到柔性印刷电缆(6)(FPC)以与FPC(6)相对。在与FPC(6)的气压传感器(7f)相对的部分中设置穿通孔(6f)，以引入工作环境中的气压到气压传感器(7f)的隔膜(7h)中。