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一种多步物理气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种多步物理气相沉积设备,包括:用于装载-卸载衬底的装载-锁定腔,和与装载-锁定腔相连的沉积腔主体;沉积腔主体由钟形外罩、单室柱状真空腔体和中心旋转柱构成,单室柱状真空腔体的内部被若干带通孔的竖直隔离板分离为若干个扇形分区,依次为:装载/卸载区、预加热区、第一沉积区、第二沉积区、......、第N沉积区和降温区;每个扇形分区中各设有一与中心旋转柱相连的衬底固定件,其与各扇形分区的底面平行,相邻的两个衬底固定件之间通过从相邻扇形分区之间的竖直隔离板上的通孔穿过的水平隔板连接。本发明实现了多步物理气相在线沉积,增加产量并降低生产成本,产品质量可靠性高,而且不会增加设备成本和技术难度。

著录项

  • 公开/公告号CN101962751B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-02-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 普尼太阳能(杭州)有限公司;

    申请/专利号CN201010520834.7

  • 发明设计人 王东;李学耕;于平荣;

    申请日2010-10-27

  • 分类号

  • 代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡红娟

  • 地址 310051 浙江省杭州市滨江区江陵路88号5幢1-2层

  • 入库时间 2022-08-23 09:08:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-02-22

    授权

    授权

  • 2011-03-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20101027

    实质审查的生效

  • 2011-02-02

    公开

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