用于检验多色和轮廓图像的CAM(计算机辅助制造)参考

摘要

本发明公开了一种电路检验系统，它包括光学子系统，用于光学检验电路，并提供指明了该电路中至少二个不同区域之间的边界的检验输出；以及分析子系统，用于分析检验输出，该分析包括把该检验输出与指明了至少二个不同区域之间的边界的计算机文件参考相比较。本发明还公开了一种检验电路的方法。