公开/公告号CN101413791B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200810213950.7
申请日2008-08-28
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:08:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/24 授权公告日:20120104 终止日期:20160828 申请日:20080828
专利权的终止
2012-01-04
授权
授权
2012-01-04
授权
授权
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-22
公开
公开
2009-04-22
公开
公开
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机译: 使用光学计量学中的近似和精细衍射模型确定结构的轮廓参数
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