一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器

摘要

本发明公开了一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器，涉及传感器技术，包括：热式测量风速部分，其双端固支悬梁支撑热线电阻，热线电阻用作测量，风吹热线后热线电阻发生变化，通过测量热线电阻的变化测量风速，热线电阻对小风速的测量有很高灵敏度。还包括：机械式测量风速部分，其薄板是迎风结构，敏感梁用作测量，风吹薄板使敏感梁弯曲，通过测量敏感梁弯曲程度来测量不同方向风作用力大小；应变传感器覆于敏感梁上，把梁弯曲信号转变为可测量电信号。本发明传感器是用热式和机械式两种原理结合测量风速，对大小风速都具高灵敏度；封装体积小。可广泛用于国防航空、气象环境、交通运输、工业制造、农业生产等方面。