高陡度镜面的离子束抛光方法

摘要

本发明公开了一种高陡度镜面的离子束抛光方法，包括以下步骤：(1)测算镜面各点的入射角θ；(2)根据模型确定各点的补偿系数K；(3)利用干涉法测定工件的初始面形误差E；(4)根据K对E进行补偿得到补偿面形误差E′；(5)通过去除函数实验获得离子束垂直入射镜面时的去除函数R；(6)根据E′和R确定出驻留时间分布T并生成数控代码；(7)利用去除函数的发生装置和生成的数控代码进行加工，加工时离子束沿平行于工件光轴方向入射镜面，通过三轴联动系统对镜面进行修形；(8)重复前述步骤直至修形结果满足面形收敛精度的要求。本发明方法在加工高陡度镜面时具有操作简单、稳定性好、加工精度高、可控性强、对设备要求低等优点。