一种测量半导体薄膜材料光学带隙的方法

摘要

本发明属于半导体薄膜检测领域，特别涉及一种测量半导体薄膜材料光学带隙的方法。本发明从结果拟合角度对透射和反射光谱进行解谱分析，求出准确的吸收系数，在此基础上采用Tauc公式求出准确的光学带隙。本发明方法对现有技术所存在的问题进行了严格的计算分析和处理，可以消除光在膜基系统的反射对透射的影响和衬底的吸收对透射的影响这两个问题造成的误差，使光学带隙的准确程度大幅提高。