调节氧化锌和氧化钛复合半导体薄膜ZnO-TiO2光学带隙的方法

摘要

本发明涉及一种调节氧化锌和氧化钛复合半导体薄膜ZnO-TiO2光学带隙的方法，其特征在于：通过采用混合两种溶胶的方法，实现了对两种材料的复合结构光学带隙可调，为以后实现宽禁带且高透过率的半导体器件的制备提供了一种可能。确定合适的预烧温度及退火工艺，通过选择溶胶体积不同配比调控TiO2-ZnO复合薄膜的光学带隙。本发明的制备工艺简单易操作。