公开/公告号CN101738848B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹NEC电子有限公司;
申请/专利号CN200810043987.X
发明设计人 王雷;
申请日2008-11-24
分类号G03F1/14(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人周赤
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
入库时间 2022-08-23 09:07:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-15
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 1/14 变更前: 变更后: 登记生效日:20131219 申请日:20081124
专利申请权、专利权的转移
2011-11-02
授权
授权
2010-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/14 申请日:20081124
实质审查的生效
2010-06-16
公开
公开
机译: 用于建立OPC模型的半导体器件和光掩模
机译: 建立OPC模型的半导体器件和光罩
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于模拟的OPC模型评估方法