制造碳薄膜的方法和碳薄膜涂覆体

摘要

一种制造碳薄膜的方法，所述方法包括在基材(5)表面上沉积中间层(6)，和在中间层(6)的表面上形成类金刚石碳涂层(1)。在制造碳薄膜的方法中，在中间层(6)的沉积期间将0V到-30V的偏压施加到基材(5)上。