法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-06-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F24F 13/06 授权公告日:20110824 终止日期:20120415 申请日:20100415
专利权的终止
2011-08-24
授权
授权
2010-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):F24F 13/06 申请日:20100415
实质审查的生效
2010-09-08
公开
公开
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机译: 构成包含单一异构体的单一种类的硅氧烷单体或硅氧烷聚合物的低介电薄膜的组合物以及使用上述组合物的低介电薄膜的制造方法
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