一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统

摘要

一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统，它涉及一种超精密气体静压主轴系统。本发明为解决现有超精密加工装备中，主轴系统中的电机和主轴为刚性连接，动力传递效果较差及刚性连接对主轴回转精度有影响的问题。本发明的交流伺服电机通电后，交流伺服电机开始转动，带动柔性驱动组件转动，平皮带转动带动拨杆产生旋转扭矩驱动主轴旋转进行切削。高压空气经轴向进气孔进入，经径向节流小孔节流后在径向气膜间隙处形成径向气体静压膜，该径向气体静压膜支撑主轴及其径向载荷，高压空气经第一轴向节流小孔节流后在轴向气膜间隙处形成轴向气体静压膜，该轴向气体静压膜支撑主轴及其轴向载荷。本发明用于多种形式的超精密车床、超精密铣床上。