旋涂机、其温度控制方法、光盘生产设备以及光盘生产方法

摘要

本发明提供旋涂机，其包括旋转地支持盘基底的旋转工作台、围绕被支持在旋转工作台上的盘基底外圆周的旋杯、配置来将紫外固化树脂组合物下滴至盘基底表面上的滴液部件、配置来通过旋转工作台旋转盘基底以将紫外固化树脂组合物铺展于盘基底表面上的旋转部件、配置来加热在盘基底上的紫外固化树脂组合物的加热部件以及配置来控制旋杯达到温度——该温度每次在紫外固化树脂组合物铺展时通过加热部件升高——以使温度在多次旋涂过程中恒定的温度控制部件。