非接触长行程多自由度纳米精密工作台

摘要

本发明公开了一种电磁驱动器与静压空气止推轴承混合支承长行程纳米精密工作台，通过采用1个气浮块实现静压空气止推轴承；采用4个独立电磁驱动器和4个位移传感器，通过座标变换，对工作台垂直位移和姿态进行解耦的闭环控制；采用在工作台支承面上将4个独立线圈安装到与工作台一体化加工的铁心上，构成4个独立的电磁驱动器，实现了单级长行程多自由度工作台，结构简单紧凑，控制系统无耦合，对测量噪声有抑制作用，不需真空预载，电磁驱动器开环稳定，抑制了静压空气止推轴承振动噪声，精度和控制性能比静压空气止推轴承工作台高，热稳定性和工作稳定性比磁悬浮工作台高。