保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置

摘要

一种保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置，其具有：激光光束激励单元；使激光光束的光斑形状形成为环状的环状光斑形成单元；沿第1路径引导光斑形状为环状的激光光束的第1光束分离器；聚光器，其对沿该第1路径引导的激光光束进行聚光，并照射被加工物；设置于第2路径上的针孔遮光器；第2光束分离器，其把通过针孔遮光器的反射光分割为第3路径和第4路径；接受第3路径上的反射光的第1受光元件；接受第4路径上的反射光的第2受光元件；设于第4路径上的受光区域限制单元，限制第2受光元件所接受的反射光的受光区域；以及控制单元，其根据第1受光元件与第2受光元件的受光光量之比，求出被加工物的上表面高度位置。