旋转斜细光束的薄透明层厚度的干涉测量方法及其装置

摘要

本发明属于干涉法测量技术领域，本发明包括以下步骤：1)将一细光束斜入射待测点处；2)旋转所说光束改变入射角为θ_itn；3)记录出一系列干涉光强极值所对应的斜入射角θ_itn；4)利用干涉极值条件方程计算出薄透明层厚度d。该方法不但使测量的分辨率和精密度有较大的提高，避免或降低了测量信号中的直流成分和其他干扰信号的影响，而且使其测量装置结构简单，可选用价格较低的部件，体积小，重量轻，利于在线测量。