光学测量用余弦光强分布物理结构光栅的设计与制作方法

摘要

光学测量用余弦光强分布物理结构光栅的设计与制作方法，属于机械工程和光学测量技术领域。本发明按照测量要求，设计光栅的尺寸大小，建立光栅尺寸与图像之间的对应关系，利用MATLAB软件设计9幅满足三频三步相移编码方案的灰度图，并使用抖动函数dither将灰度图转化为黑白二值图。再在Ledit软件中设计光栅，利用电子束扫描光刻机制作光栅。本发明基于图像抖动的原理，实现物理结构光栅满足余弦分布，减少投影图片数量，同时保证了测量的精度和稳定性。此外本发明在一块石英玻璃片上制作所有光栅，光栅条纹方向相互平行，与投影机构位移方向一致，降低了对位移精度的苛刻要求，保证了光栅投影的对齐精度。