离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构

摘要

本发明公开了一种离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构，包括有陶瓷管，陶瓷管左、右端面为金属化端面，其特征在于：所述的陶瓷管左、右端内壁套装有第一、第二无氧铜法兰，所述的第一、第二无氧铜法兰有环形外、内翻边沿经过真空焊接于陶瓷管左端金属化端面上，第一、第二不锈钢封结法兰焊接于第一、第二无氧铜法兰的环形外、内翻边沿上；第一、第二不锈钢封结法兰分别有环形外、内翻边，所述的环形外、内翻边外端逐步由厚变薄为锥形结构。法兰外端为锥形结构目的是通过延长传热路径和减少传热面积，从而达到减少陶瓷封接部件和内外导体焊接时对陶瓷的导热量，最终减少焊接时不锈钢法兰和陶瓷之间的热应力，保证陶瓷封接部件和内外导体成功焊接。