公开/公告号CN1809910B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-27
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯技术公司;
申请/专利号CN200480017294.3
申请日2004-06-18
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人廖凌玲
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:07:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/317 授权公告日:20110727 终止日期:20160618 申请日:20040618
专利权的终止
2011-07-27
授权
授权
2011-07-27
授权
授权
2006-09-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-09-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-07-26
公开
公开
2006-07-26
公开
公开
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机译: 离子注入系统中用于等离子体产生的薄磁控管结构
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