公开/公告号CN101619457B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN200910304802.0
申请日2009-07-24
分类号C23F1/30(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构11302 北京市德权律师事务所;
代理人王建国
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
入库时间 2022-08-23 09:07:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-06
授权
授权
2010-03-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2010-01-06
公开
公开
机译: 一种用于生产任选的nsta端基的方法,该方法应在具有高疲劳强度的腐蚀剂的存在下进行。
机译: 具有高固体含量的防腐蚀涂料组合物,具有高固体含量的快速固化的抗腐蚀涂料组合物,一种用于涂覆船舶或类似结构的方法,具有高固体含量的耐腐蚀膜和具有高固体含量的快速固化防腐蚀膜,因此覆盖,以及用此类FILMS覆盖的船舶和水下结构
机译: 碳纳米管,一种制造相同碳纳米管的方法,一种包括该碳纳米管的抗腐蚀剂,以及一种用于换热器的导热流体,其中包括能够提高碳纳米管的热交换效率的能力