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一种获得方镜连续面形值的方法

摘要

本发明提出一种获得方镜连续面形值的方法,包括以下步骤:启动含有方镜的工件台;设定数据采集装置的采样间隔;使用所述数据采集装置对所述方镜面形进行数据采样,获取采样数据并将所述采样数据发送到服务器保存;在所述服务器中使用Nyquist定律对所述采样数据进行处理,得出所述方镜的连续面形值。本发明一种获得方镜连续面形值的方法能够获得更加精确的方镜连续面形值,减少误差。

著录项

  • 公开/公告号CN101614611B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN200910055510.8

  • 发明设计人 余日可;

    申请日2009-07-28

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01M11/00(20060101);G01B11/24(20060101);G01B11/30(20060101);

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅;李时云

  • 地址 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-07-21

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01M 11/02 变更前: 变更后: 申请日:20090728

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2011-06-29

    授权

    授权

  • 2011-06-29

    授权

    授权

  • 2010-02-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2010-02-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-12-30

    公开

    公开

  • 2009-12-30

    公开

    公开

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