准分子激光微加工系统的光具调节器

摘要

准分子激光微加工系统的光具调节器属于微纳米科学技术领域，用于MEMS加工。本发明中，在光学导轨上设置滑动座(1)，滑动座(1)上依次安装调节座(2)、支撑板(3)、镜架(4)、紧定位器(5)。镜架(4)设有可放置大口径圆形光学元件的光具孔(22)；其中还设置有可安置在光具孔(22)中的方形光学元件调节器(23)以及安装在滑动座(1)上的可转折光路的反光斜架座(32)。本发明可实现X方向、Y方向、Z方向、俯仰、左右旋转，共五维微调，还可90°折转光路及安装方形光学元件。紧定位器(5)直接与调节座(2)连接，并包在镜架(4)外围，其侧面四周均匀设置多个螺孔，通过螺钉顶固镜架(4)，保证了光学元件可靠地长期稳定工作。