方法、对齐标记和硬掩模材料的使用

摘要

在一种用于生产对齐标记的方法中，氧化物层和牺牲层被处理以包含凹槽。所述凹槽由填充材料填充。在填充凹槽的过程中，一层填充材料形成在牺牲层上。所述填充材料层通过化学机械抛光去除。所述牺牲层在填充凹槽和去除填充材料层的过程中保护所述氧化物层。然后通过刻蚀去除牺牲层。这提供了一种具有凸起的氧化物层。具有凸起的氧化物层覆盖有导电层，由此所述凸起刺穿氧化物层以形成相关的凸起。所述相关的凸起形成对齐标记。