一种用于红外热像成像仪的光学读出方法

摘要

一种用于红外热像成像仪的光学读出方法，红外热像成像仪包括红外集像模块、真空室、放置于真空室中的微梁单元阵列、光学读出模块和图像读出显示模块；光学读出模块包括LED光源、准直透镜、分光镜、傅里叶透镜、滤波器以及成像透镜；其特征在于：所述的滤波器选用狭缝滤波器，狭缝滤波器设置于微梁单元的光学衍射谱平面上，并通过狭缝滤波器的空间滤波作用，调制衍射谱的强度；其效果在于：提出了基于狭缝滤波器的光学读出方法，并同时针对该光学读出方法，提出了如何准确获得其最佳灵敏度的方法；通过准确设置狭缝滤波器的宽度、狭缝中心线的位置、以及LED光源的发光亮度，可使红外热像成像仪的光学检测灵敏度得到成倍提高。