钴基合金化学镀液以及使用该化学镀液的化学镀法

摘要

本发明提供一种钴基合金化学镀液，其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂，其中所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物，并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物；以及使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法，和通过该法制备的薄膜。根据本发明，所述钴基合金镀液对于长期重复使用足够稳定，且通过抑制沉淀生成避免金属薄膜质量的劣化。本发明进一步提供使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法，和通过该法制备的钴基合金薄膜。