一种中空阴极电弧离子镀涂层系统

摘要

一种中空阴极电弧离子镀涂层系统，包括真空室，真空室设有抽真空口，真空室内设有阴极电弧靶和工件架，所述真空室与地绝缘，真空室内壁装上靶材，与电源负极连接，形成中空阴极电弧靶；工件架位于中空阴极电弧靶所包围空间的中心区域。本发明与常规电弧离子镀技术不同，本发明采用可旋转的电磁线圈产生控弧磁场，线圈旋转的转速可以通过调整电机转速进行调整。本发明对常规电弧离子镀技术进行大幅度的改进，首次提出了中空阴极电弧离子镀技术。大幅度提高了涂层的沉积效率，简化了涂层设备。具有镀膜效率高、成本低、操作方便等特点。可以满足工业上超厚涂层的要求。具有较好的应用前景。