法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 28/00 授权公告日:20110518 终止日期:20140807 申请日:20090807
专利权的终止
2011-05-18
授权
授权
2010-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20090807
实质审查的生效
2010-05-26
公开
公开
机译: 一种针对气体,特别是放射性气体的逸出物进行表面处理的方法
机译: 通过介电放电进行表面处理的设备和方法是在一种气体中进行的,这使得可以同时处理两个基板
机译: 由于是在室温下无加热器的条件下进行操作的,因此,采用导电聚合物和碳纳米管复合材料制造气体传感器的方法可以最大程度地降低能耗