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涂布液、使用该涂布液形成的氧化钛薄膜及其形成方法

摘要

一种涂布液,其包括由化学式(1)表示的有机金属络合物:其中R1-R8分别代表下列(1)-(4)中的任一个:(1)由式CnH2n+1表示的基团,其中n为等于或大于0的整数;(2)由式COOR9表示的基团,其中R9为由式CmH2m+1表示的基团且m为等于或大于0的整数;(3)卤素原子;和(4)CN或NO2。[化学式1]

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/12 授权公告日:20110615 终止日期:20161225 申请日:20061225

    专利权的终止

  • 2011-06-15

    授权

    授权

  • 2011-06-15

    授权

    授权

  • 2009-09-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-09-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-15

    公开

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  • 2009-07-15

    公开

    公开

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