利用含氢自由基清洁自生氧化物的方法和设备

摘要

一基材清洁设备，其有一远程来源可自远程将含氢气体激发以形成一激发气体，其中离子性含氢物种对含氢自由基物种的比值为第一比率。该设备有一处理室，其具有一基材支撑件、一离子过滤器用以过滤该远程激发的气体以形成一经过滤的激发气体(其中离子性含氢物种对含氢自由基物种的比值为第二比率，该第二比率与该第一比率不同)、以及一气体分配器用以将该经过滤的激发气体引入该室内。