法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/00 授权公告日:20110518 终止日期:20181219 申请日:20071219
专利权的终止
2011-05-18
授权
授权
2011-05-18
授权
授权
2008-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-28
公开
公开
2008-05-28
公开
公开
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机译: 用于检测极紫外光源装置中的辐照度分布的方法和用于极紫外光源装置的检测装置
机译: 具有用于光学仪器的扩展波长范围的光源,使用其的光学光谱分析仪以及用于光学光谱分析仪的扩展光源的波长范围的方法
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