使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪

摘要

本发明提出了一种体积小、结构简单、成本低廉的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪；包括光源；准直装置，使来自光源的光束平行；光栅或棱镜，接收光束并使光束色散；成像装置，将色散光束成像到MOEMS可动闪耀光栅阵列上，并将MOEMS可动闪耀光栅阵列衍射得光束成像到探测器；MOEMS可动闪耀光栅阵列及其驱动电路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可动闪耀光栅阵列包括多个并列的MOEMS可动闪耀光栅，所述多个MOEMS可动闪耀光栅可在驱动电路的控制下分组进行偏转动作，以选通不同谱带光束；以及探测器；本发明的光谱仪具有光通量大、光能利用率高、信噪比高等优点，可广泛应用于生化分析、食品安全监测等领域。