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基于MOEMS的微型光谱仪的发展及其在深空探测中的应用

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摘要

首先介绍了基于微光机电系统的微型光谱仪的基本概念和特点,并对近年来国内外已报道的典型的微型光谱仪进行了分类整理,之后详细阐述了不同类型的微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,最后介绍了微型光谱仪在深空探测领域中的应用,并展望了微型光谱仪的应用前景和发展趋势.

著录项

来源
《第二十六届空间探测研讨会》|2013年|713-721|共9页
会议地点博鳌
作者
Wang Zheng; 王铮; Su Yun; 苏云; Li huan; 李欢;
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作者单位

中国空间科学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 V447.1;
关键词
深空探测; 微型光谱仪; 制作工艺; 性能表征;

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