公开/公告号CN1601892B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立国际电气;
申请/专利号CN200410077810.3
申请日2004-09-15
分类号H03F1/32(20060101);H03F1/00(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人季向冈
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:06:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-11
授权
授权
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-30
公开
公开
机译: 畸变吨位的测量方式和利用该畸变吨位的投影曝光装置以及使用该装置的生产方式无效
机译: 光学传输装置,非线性畸变补偿方法和非线性畸变预均衡方法
机译: 光学传输装置,非线性畸变补偿方法和非线性畸变预均衡方法