法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/00 授权公告日:20110105 终止日期:20130924 申请日:20090924
专利权的终止
2011-01-05
授权
授权
2010-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20090924
实质审查的生效
2010-03-10
公开
公开
机译: 激光束通过在激光照射点上的点标记而在半导体晶片等表面上形成微点标记
机译: 具有标记指示激光照射点的薄膜晶体管阵列面板
机译: 具有标记指示激光照射点的薄膜晶体管阵列面板