一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法

摘要

本发明的一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。首先测量光纤衍射的球面波通过分光棱镜反射到辅助正透镜，被变换为汇聚球面波并在被测球面的表面反射，携带被测球面信息的反射波前通过辅助正透镜、透过分光棱镜汇聚到参考光纤端面，形成测量波前；移走被测球面，其他光学元件保持不动，在辅助正透镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法可测量辅助正透镜、分光棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明的凸球面和凹球面测量都分为两步来实现，两步测量都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够保证两次干涉测量的高精度，也就能够保证最终球面面形测量结果的精度。