一种调频变面积电涡流位移传感器

摘要

一种调频变面积电涡流位移传感器，包括振荡线圈、振荡电路板、电涡流目标板；其特征是：还包括振荡频率读出、运算及非线性校正板；振荡电路板上设两套相同的调频振荡电路；振荡电路板的被测位移方向的每端粘固着同套调频振荡电路的两振荡线圈且位置平行相对；各振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面平行，同套调频振荡电路的两振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面的垂直接近度相互补偿；电涡流目标板在被测位移方向的长度为振荡线圈在该方向的外边长与两套振荡线圈两接近边间距之和；两套调频振荡电路输出端接振荡频率读出、运算、非线性校正板。它能同时进行温度和接近度补偿及用软件进行非线性校正，且结构简单、体积小、性能强。