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抛光和刨平表面用的组合物和方法

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提供一种用于抛光或刨平工件表面的研磨剂组合物，该组合物包含约30-50%氧化铈；约8-约20%气相二氧化硅；和约15-约45%沉淀法二氧化硅。还提供用该组合物来抛光或刨平工件表面的方法，以及用该方法制成的制品。

著录项

公开/公告号CN1052502C

专利类型发明授权
公开/公告日2000-05-17

原文格式PDF
申请/专利权人罗德尔公司;
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申请/专利号CN93102414.5
发明设计人 G·布兰卡罗尼;E·W·杰森;J·V·H·罗伯特思;
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申请日1993-03-05
分类号C09K3/14;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人任宗华
地址美国特拉华
入库时间 2022-08-23 08:55:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2001-05-02

专利权的终止未缴年费专利权终止

专利权的终止未缴年费专利权终止
2000-05-17

授权

授权
1995-06-21

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
1993-11-03

公开

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专利
中文文献
外文文献

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