喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置

摘要

本发明提供一种喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器。喷落点测定方法利用由干涉仪组成的形态测定装置来对通过功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定，其特征在于，具备：检查喷出工序，其使所述功能液滴喷头在主扫描方向相对于所述检查薄板相对移动，同时，使所述功能液滴喷头的多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出；测定工序，其使所述形态测定装置在所述功能液滴喷头之后相对于所述检查薄板在所述主扫描方向同速相对移动，同时对多个所述喷落点分别进行形状测定。