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一种薄膜型热电转换器及测量方法

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摘要

本发明公开了一种薄膜型热电转换器及测量方法，涉及电学计量技术，包括以硅片为衬底，利用低压化学气相外延方法在衬底上生长的SiO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-05-22

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 19/03 授权公告日:20110105 终止日期:20120318 申请日:20090318

专利权的终止
2011-01-05

授权

授权
2009-10-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-08-26

公开

公开

1. 一种薄膜型热电转换器及测量方法 [P] . 中国专利： CN101515002B . 2011.01.05
2. 制作集成热电转换器的方法和由此获得的集成热电转换器 [P] . 中国专利： CN113764567A . 2021-12-07
3. METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TYPE THERMO-COUPLE, THIN FILM TYPE THERMO-COUPLE MANUFACTURING APPARATUS USED THEREFOR, THIN FILM TYPE THERMO-COUPLE MANUFACTURED BY USE THEREOF [P] . 日本专利： JP2009004520A . 2009-01-08

机译：制造薄膜型热电偶的方法，使用的薄膜型热电偶的制造装置，使用该薄膜制热型的薄膜热电偶的制造方法
4. THERMOELECTRIC CONVERTER (VERSIONS), THERMOCOUPLE CABLE FOR MAKING THERMOELECTRIC CONVERTER IN FIRST VERSION, METHOD OF DETERMINING NEED FOR CHECKING OR CALIBRATING THERMOELECTRIC CONVERTER [P] . 俄罗斯专利： RU2403540C1 . 2010-11-10

机译：热电转换器（版本），用于在第一版本中制造热电转换器的热电缆，确定用于检查或校准热电转换器的方法
5. Production method of thermoelectric converter, production method of electronic device equipped with thermoelectric converter, and thermoelectric converter [P] . 美国专利： US9871181B2 . 2018-01-16

机译：热电转换器的制造方法，具有热电转换器的电子设备的制造方法以及热电转换器