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气体洁净处理设备及含悬浮分子污染物的气体的处理方法

摘要

本发明提供一种气体洁净处理设备及含悬浮分子污染物的气体的处理方法,该设备包括:气体输入导管,将含悬浮分子污染物的气体导入辐射腔;位于辐射腔中的辐射源,分解含悬浮分子污染物的气体;纳米光触媒,催化辐射源对含悬浮分子污染物的气体的分解;连接辐射腔的第一小分子过滤膜,过滤通过辐射腔后被分解的小分子气体;连接第一小分子过滤膜的水雾吸附装置,吸附通过第一小分子过滤膜的气体中的悬浮分子污染物;连接水雾吸附装置的第二小分子过滤膜;连接第二小分子过滤膜的活性碳过滤膜;气体输出导管,将洁净后的气体导入洁净室。本发明能有效去除气体中的含悬浮分子污染物,供应稳定无污染物的环境气体,大大提高加工和产品的良好率及产量。

著录项

  • 公开/公告号CN101298013B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-12-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;

    申请/专利号CN200710102949.2

  • 发明设计人 万嘉庆;尤明达;陈育杰;

    申请日2007-04-30

  • 分类号

  • 代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;

  • 代理人潘培坤

  • 地址 中国台湾新竹市

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-12-29

    授权

    授权

  • 2008-12-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-11-05

    公开

    公开

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